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質(zhì)量流量控制器

簡(jiǎn)要描述：

質(zhì)量流量控制器是控制和測(cè)量氣體流量的儀器，它們?cè)诟鞣N工業(yè)應(yīng)用中都非常關(guān)鍵。MC標(biāo)準(zhǔn)系列設(shè)計(jì)旨在提供響應(yīng)式的氣體流量控制并抑制壓力波動(dòng)。MCR大流量系列質(zhì)量流量控制器是設(shè)計(jì)用于處理較大氣體流量的儀器，具備多項(xiàng)功能和特性以滿(mǎn)足工業(yè)上對(duì)氣體流量控制的需求。MCW/MCRW低壓損系列設(shè)計(jì)的低壓損性能使得在氣體流動(dòng)過(guò)程中，壓力損失減小

更新時(shí)間：2026-01-20

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　　質(zhì)量流量控制器是控制和測(cè)量氣體流量的儀器，它們?cè)诟鞣N工業(yè)應(yīng)用中都非常關(guān)鍵。

質(zhì)量流量控制器

　　以下是一些大家經(jīng)常選購(gòu)的系列：

　　1 、MC標(biāo)準(zhǔn)系列

　　其設(shè)計(jì)旨在提供響應(yīng)式的氣體流量控制并抑制壓力波動(dòng)。以下是一些特點(diǎn)：

　　.高精度控制：能夠控制氣體的流量，確保流量保持在用戶(hù)設(shè)定值內(nèi)。這對(duì)于需要?dú)怏w流量控制的實(shí)驗(yàn)或工業(yè)應(yīng)用很重要。

　　.穩(wěn)定性能：該系列控制器性能穩(wěn)定，能夠有效抑制因壓力波動(dòng)導(dǎo)致的影響。

　　.無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償：與某些流量計(jì)不同，測(cè)量值不會(huì)因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，因此不需要進(jìn)行溫度壓力補(bǔ)償，這是由于它們可直接測(cè)量通過(guò)傳感器的質(zhì)量流量。

　　.廣泛應(yīng)用：適用于多種氣體，并且在不同的工業(yè)和科研領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用，如半導(dǎo)體制造、化學(xué)氣相沉積、燃燒系統(tǒng)等。

　　.可定制性：根據(jù)不同的應(yīng)用需求，可提供定制化的選項(xiàng)，以滿(mǎn)足特定的操作條件和性能要求。

　　.用戶(hù)界面友好：配備直觀的用戶(hù)界面，使得設(shè)置和調(diào)整流量參數(shù)變得簡(jiǎn)單快捷。

　　.安全性：具備必要的安全特性，以確保在各種操作條件下的安全使用。

MC標(biāo)準(zhǔn)系列

　　2、MCR大流量系列

　　MCR大流量系列質(zhì)量流量控制器是設(shè)計(jì)用于處理較大氣體流量的儀器，具備多項(xiàng)功能和特性以滿(mǎn)足工業(yè)上對(duì)氣體流量控制的需求。以下是一些詳細(xì)介紹：

　　. 適用多種標(biāo)準(zhǔn)工況：能夠在不同標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力下工作，提供三種工況供切換，允許用戶(hù)根據(jù)實(shí)際應(yīng)用需求選擇合適的工作環(huán)境。

　　. 快速響應(yīng)：整合了快速響應(yīng)的比例調(diào)節(jié)閥與優(yōu)化的PID控制，能夠?qū)崿F(xiàn)控制響應(yīng)時(shí)間，這對(duì)于需要迅速調(diào)整流量的工藝來(lái)說(shuō)非常關(guān)鍵。

　　. 適應(yīng)性高：無(wú)論是在高溫還是低溫環(huán)境下，MCR系列都能保持穩(wěn)定工作。

　　. 濕度適應(yīng)范圍廣：這些控制器可在廣泛的工作濕度范圍內(nèi)運(yùn)行而不會(huì)發(fā)生冷凝，讓在不同濕度條件下設(shè)備的正常運(yùn)行。

MCR大流量系列

　　3、MCW/MCRW低壓損系列的特點(diǎn)如下：

　　. 低壓損設(shè)計(jì)：這些控制器設(shè)計(jì)的低壓損性能使得在氣體流動(dòng)過(guò)程中，壓力損失減小，這對(duì)于保持系統(tǒng)的整體效率和成本效益較為重要。

　　. 層流差壓式原理：產(chǎn)品采用層流差壓式原理，這是一種通過(guò)測(cè)量流體流過(guò)傳感器時(shí)產(chǎn)生的壓力差來(lái)確定流量的方法，能夠?qū)崿F(xiàn)流量控制和測(cè)量。

　　. 多樣化應(yīng)用：適用于多種行業(yè)，包括實(shí)驗(yàn)科研、環(huán)境保護(hù)、生物醫(yī)藥、過(guò)程控制、能源化工、半導(dǎo)體等，顯示出它們的多功能性和適應(yīng)性。

　　. 兼容性：設(shè)計(jì)兼容多種類(lèi)型的氣體和應(yīng)用，確保了在不同的操作條件下均能保持良好的工作性能。

MCW/MCRW低壓損系列

　　4、MCS/MCRS耐腐蝕系列

　　MCS/MCRS系列耐腐蝕系列是專(zhuān)為處理腐蝕性氣體而設(shè)計(jì)的高精度設(shè)備。以下是詳細(xì)介紹：

　　. 響應(yīng)速度: MCS/MCRS系列在通電后毫秒內(nèi)即可響應(yīng)，可以快速達(dá)到并保持設(shè)定值，滿(mǎn)足對(duì)快速控制有要求的應(yīng)用場(chǎng)合。

　　. 多變量數(shù)據(jù): 用戶(hù)能夠以選擇的工程單位控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力，并且設(shè)備能顯示瞬時(shí)流量、壓力和溫度讀數(shù)，方便監(jiān)控和調(diào)整過(guò)程參數(shù)。

　　. 易于集成: 設(shè)計(jì)考慮了與其他系統(tǒng)的集成需求，使得這些控制器能夠輕松地適配到現(xiàn)有的工業(yè)或科研系統(tǒng)中。

　　. 穩(wěn)定性: 除了快速響應(yīng)外，MCS/MCRS系列還能夠穩(wěn)定地控制目標(biāo)氣體的流量。

　　. 材料: 設(shè)備的接液部分使用耐腐蝕材料制成，能夠抵抗氣體腐蝕，延長(zhǎng)使用壽命。

MCS/MCRS耐腐蝕系列

　　5、MCE/MCV半導(dǎo)體行業(yè)系列

　　MCE/MCV半導(dǎo)體行業(yè)系特別適用于半導(dǎo)體行業(yè)的真空應(yīng)用。

　　MCE系列主要針對(duì)低真空應(yīng)用；

MCE系列

　　MCV系列則適用于高真空應(yīng)用；

MCV系列

　　以下是詳細(xì)介紹：

　　. 多變量測(cè)量與控制：這些控制器能夠同時(shí)測(cè)量和控制多個(gè)變量，如質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，提供過(guò)程監(jiān)控。

　　. 多種氣體標(biāo)定：MCE/MCV系列支持多種氣體的標(biāo)定，這意味著它們可以在不同的氣體環(huán)境下保持流量控制。

　　. 量程可調(diào)比：這些控制器具備量程可調(diào)比，使得一臺(tái)設(shè)備就能覆蓋廣泛的應(yīng)用范圍，從而減少了對(duì)多臺(tái)設(shè)備的依賴(lài)。

　　. 快速響應(yīng)：MCE/MCV系列在控制響應(yīng)速度上與其標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器一樣快，這對(duì)于需要迅速調(diào)整流量的半導(dǎo)體工藝很重要。

　　. 緊密聯(lián)系：MCV和MCE系列在設(shè)計(jì)上緊密相關(guān)，采用的技術(shù)和應(yīng)用特性相輔相成，為不同真空條件下的應(yīng)用提供了解決方案。

質(zhì)量流量控制器

　　性能參數(shù)：

指標(biāo)	MFC
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....20SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿(mǎn)量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿(mǎn)量程）
重復(fù)性	±0.2%
量程比	200:1
響應(yīng)時(shí)間	100ms
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點(diǎn)漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測(cè)量流量范圍	128％（過(guò)流率）
大耐壓	145psi
輸出信號(hào)（數(shù)字）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
數(shù)字信號(hào)可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號(hào)（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號(hào)可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類(lèi)型流量計(jì)而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A）